美國康寧Corning Tropel  Flat Master系列平面度測量系統(tǒng)基于160 多年在特殊玻璃、陶瓷材料、聚合物和應(yīng)用光學(xué)等材料科學(xué)和制程工藝領(lǐng)域的知識(shí), CORNING 創(chuàng)造并制造出了眾多被用于高科技消費(fèi)電子、移動(dòng)排放控制、通訊和平板顯示等科學(xué)領(lǐng)域產(chǎn)品的關(guān)鍵檢測設(shè)備。
      美國康寧Corning Tropel Flat Master 200平面度儀也稱為平整度儀、平坦度儀，為精密部件的制造商提供了業(yè)界的表面形態(tài)測量。通過非接觸式光學(xué)測量技術(shù)記錄下整個(gè)表面的數(shù)據(jù)。Flat Master 200平面度儀能夠快速和準(zhǔn)確地對各種表面的平面度、線型和其他表面參數(shù)進(jìn)行測量。

Flat Master 200平面度儀產(chǎn)品特點(diǎn)：

? 無接觸和無損傷測量 ? 適用多種類型材料：半導(dǎo)體，金屬，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料 ? 適用多種類型晶片：硅/藍(lán)寶石/碳化硅/砷化鎵/石英/鍺/鈮酸鋰 ? 適用多種類型表面：研磨表面，拋光面，光滑面

Flat Master 200平面度儀可測量多種不同指標(biāo)：

? 厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/壓力/翹曲度/彎曲度/平坦度/平面度/線輪廓/表面輪廓 ? 完整的分析系統(tǒng) ? 三維/拓?fù)?合格率/分布/二維環(huán)形和半徑切面/平面/球面/錐形匹配/局部平面度分析/斜度 ? 可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)、快速、準(zhǔn)確、穩(wěn)定的測量 ? 超過15年的工業(yè)應(yīng)用，全球幾百臺(tái)的裝機(jī)量

Flat Master 200平面度儀的技術(shù)參數(shù)：

1）精度：50nm （2.0μ″） 2）重復(fù)性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma） 3）分辨率：5nm （0.2μ″） 4）可測量工件尺寸：25mm-200mm 5）動(dòng)態(tài)測量范圍：>100um 6）測量數(shù)據(jù)點(diǎn)：230,000 點(diǎn) / 每次測量 7）測量時(shí)間：5秒 8）電源：220V 50Hz

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上海量博實(shí)業(yè)有限公司專業(yè)代理美國康寧CORNING TROPEL平面度儀/平坦度儀等，量博技術(shù)服務(wù)部與匯聚全球資源的合作品牌一起，以共同對測量技術(shù)的專注和專業(yè)，致力于在質(zhì)量檢測和工業(yè)領(lǐng)域，為客戶提供區(qū)域化和全球化的廣泛的優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品和服務(wù)，確保操作和維護(hù)儀器的總體有效性和成本*佳化，增強(qiáng)您測量和檢測的可靠性和性能，如需進(jìn)一步了解，歡迎來電詳詢。

產(chǎn)品規(guī)格	Tropel FlatMaster 200
測量方法	斜入射式激光干涉法
產(chǎn)品性能
精確度	50nm （0.05um）
重復(fù)性	15nm （0.015um）
解析度	5nm  （0.005um）
測量尺寸	5mm~200mm
測量數(shù)據(jù)點(diǎn)數(shù)	230,000點(diǎn)/每次測量
測量時(shí)間	5秒
標(biāo)準(zhǔn)測量	平面度，線輪廓，面輪廓，球半徑，zui高點(diǎn)，zui低點(diǎn), X-Y坐標(biāo)，3-D，圓環(huán)，局部平面度分析，表面輪廓等
材質(zhì)和表面的要求
材質(zhì)	金屬，陶瓷，聚合物，玻璃等
表面	粗磨，研磨，精磨，拋光，精加工
反射率	zui小值為10%（入射角為85度）
粗糙度zui大限度	1.0 μm (40 μ") Ra (typical at 4 μm/fringe)
重量和尺寸
FlatMaster 200	76 cm x 65 cm x 34 cm, 75 kg
可選擇的配置
擴(kuò)展范圍選項(xiàng)（XR）：允許在更大的動(dòng)態(tài)范圍內(nèi)進(jìn)行測量 擴(kuò)展精度選項(xiàng)（XA）：允許在更高的精度下進(jìn)行測量 擴(kuò)展范圍和精度選項(xiàng)（XRA）：包括了XR和XA的選項(xiàng)