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美國Corning平面度測量系統(tǒng)FlatMaster 100

美國康寧Corning Tropel Flatmaster 100平面度儀,為精密部件的制造商提供了業(yè)界*先的平面度及表面形態(tài)測量。通過非接觸式光學(xué)測量技術(shù)能在很短的時間內(nèi)記錄下整個表面的數(shù)據(jù)。

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Tropel FlatMaster 100

平面度測量儀 快速、準(zhǔn)確地測量經(jīng)粗磨、研磨、精磨、拋光和精加工的部件

美國Corning平面度測量系統(tǒng)FlatMaster 100 Flatmaster 100平面度儀提供了五種納米級的解析度和高達(dá)50納米的標(biāo)準(zhǔn)精度,能夠快速和準(zhǔn)確地對各種表面的平面度、線型、半徑和其他表面參數(shù)進(jìn)行精密測量。

Tropel Flat master 100平面度儀技術(shù)特點(diǎn)及應(yīng)用領(lǐng)域:
? 無接觸和無損傷測量
? 適用多種類型材料:
半導(dǎo)體,金屬,聚合物,陶瓷,玻璃和其它材料
? 適用多種類型晶片:
硅/藍(lán)寶石/碳化硅/砷化鎵/石英/鍺/鈮酸鋰
? 適用多種類型表面:
研磨表面,拋光面、光滑面
 Flat master 100平面度儀 待測樣件
可測量多種指標(biāo)
完整的分析系統(tǒng)
● 厚度
● TTV
● SORI
● LTV
● LDOF
● 壓力
● 翹曲度
● 彎曲度
● 平坦度
● 平面度
● 線輪廓
● 表面輪廓
● 三維
● 拓?fù)?br /> ● 合格率
● 分布
● 二維環(huán)形
● 半徑切面
● 平面
● 球面
● 錐形匹配
● 局部平面度分析
● 斜度

技術(shù)參數(shù):

? 精度:50nm (2.0μ″)
? 重復(fù)性:15 nm(0.6μ″)(1 sigma)
? 分辨率:5nm (0.2μ″)
? 可測量工件尺寸:25mm-100mm(更小工件也可提供)
? 動態(tài)測量范圍:>100um
? 測量數(shù)據(jù)點(diǎn):230,000 / measurement
? 測量時間:5秒
? 電源: ~220V 50Hz
技術(shù)參數(shù)示意圖

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