LUPHOScan HD非接觸式三維光學(xué)輪廓儀可對(duì)高偏差非球面和自由曲面等具有挑戰(zhàn)性的表面的半徑和不規(guī)則度進(jìn)行高精度的非接觸式三維輪廓測(cè)量。
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Accuracy |
在測(cè)量過(guò)程中,探頭對(duì)被測(cè)物體的整個(gè)表面執(zhí)行螺旋掃描,并生成高密度3D數(shù)據(jù)。 通過(guò)使用空氣軸承主軸旋轉(zhuǎn)物體來(lái)實(shí)現(xiàn)掃描,同時(shí)使用線性平臺(tái)使傳感器徑向和軸向移動(dòng)。 旋轉(zhuǎn)平臺(tái)使傳感器垂直于物體表面。 移動(dòng)平臺(tái)的布局提供了很高的靈活性,即使對(duì)于不常見的表面形狀(包括陡峭的坡度或帶有拐點(diǎn)的輪廓)也是如此。 基于所采用的MWLI傳感器技術(shù)的絕對(duì)測(cè)量能力,計(jì)量?jī)x器還可以檢查不連續(xù)的光學(xué)器件,例如分段表面,環(huán)形透鏡,非球面透鏡和軸錐。 此外,LuphoSwap擴(kuò)展組件還可以確定透鏡的厚度以及楔形和偏心誤差。 它的軟件還可以用于分析(全自動(dòng))光學(xué)表面相對(duì)于用戶定義的參考表面的定位,例如鏡片周邊,任何鏡片安裝座或模具鏡筒。 |
LuphoScan平臺(tái)可提供出色的形狀測(cè)量精度。 這是通過(guò)特別的參考框架概念和遵循阿貝原理的精密的參考傳感器布置實(shí)現(xiàn)的。 在LuphoScan 260 HD平臺(tái)中,通過(guò)選擇新的材料,改進(jìn)的傳感器控制,實(shí)時(shí)包括周圍環(huán)境以及先進(jìn)的校準(zhǔn)功能對(duì)概念進(jìn)行了優(yōu)化。 這樣,高清系統(tǒng)在90°范圍內(nèi)提供的絕對(duì)測(cè)量精度優(yōu)于±50 nm(3σ)。 此外,測(cè)量結(jié)果的可重復(fù)性和本底噪聲得到了非常大的改善。 下圖顯示了在高達(dá)90°的重復(fù)測(cè)量中確定的校準(zhǔn)球(D = 25 mm)的功率和PV誤差變化的示例。 在14小時(shí)的測(cè)量期間內(nèi),功率和PV的變化分別保持小于±15 nm和±5 nm。 |
測(cè)量能力非常高 |
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