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LUPHOScan HD非接觸式三維形狀測(cè)量設(shè)備

LUPHOScan HD非接觸式三維光學(xué)輪廓儀可對(duì)高偏差非球面和自由曲面等具有挑戰(zhàn)性的表面的半徑和不規(guī)則度進(jìn)行高精度的非接觸式三維輪廓測(cè)量。

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LUPHOScan HD


用于測(cè)量非球面、自由曲面光學(xué)元件和透鏡模具的非接觸式三維形狀/外形測(cè)量設(shè)備。
LUPHOScan HD非接觸式三維光學(xué)輪廓儀可對(duì)高偏差非球面和自由曲面等具有挑戰(zhàn)性的表面的半徑和不規(guī)則度進(jìn)行高精度的非接觸式三維輪廓測(cè)量。LUPHOScan HD的穩(wěn)定性是Lin先的,特別在一些嚴(yán)苛的環(huán)境下,也能保證對(duì)非球面和自由曲面進(jìn)行高精度地快速輪廓測(cè)量,新一代LUPHOScan HD三維輪廓儀是在高達(dá) 90°的采樣斜率上精度優(yōu)于 50 nm (3σ) 的儀器。
LuphoScan 260/420 HD測(cè)量臺(tái)開創(chuàng)了光學(xué)表面高精密計(jì)量的新領(lǐng)域。新一代的測(cè)量系統(tǒng)能夠測(cè)量物件角度大至90° 度,絕對(duì)測(cè)量精度高于±50 nm (3σ) 。測(cè)量結(jié)果有著很高的重復(fù)性且低噪音。
全新的 LuphoScan 260/420 HD是對(duì)高精度有著很高要求應(yīng)用的理想選擇,是生產(chǎn)過(guò)程控制的基本要求。可測(cè)量坡度很高的表面、具有不同間距方向的表面、很小的表面例如手機(jī)鏡頭模具。

Technology

Accuracy

在測(cè)量過(guò)程中,探頭對(duì)被測(cè)物體的整個(gè)表面執(zhí)行螺旋掃描,并生成高密度3D數(shù)據(jù)。 通過(guò)使用空氣軸承主軸旋轉(zhuǎn)物體來(lái)實(shí)現(xiàn)掃描,同時(shí)使用線性平臺(tái)使傳感器徑向和軸向移動(dòng)。 旋轉(zhuǎn)平臺(tái)使傳感器垂直于物體表面。 移動(dòng)平臺(tái)的布局提供了很高的靈活性,即使對(duì)于不常見的表面形狀(包括陡峭的坡度或帶有拐點(diǎn)的輪廓)也是如此。
基于所采用的MWLI傳感器技術(shù)的絕對(duì)測(cè)量能力,計(jì)量?jī)x器還可以檢查不連續(xù)的光學(xué)器件,例如分段表面,環(huán)形透鏡,非球面透鏡和軸錐。 此外,LuphoSwap擴(kuò)展組件還可以確定透鏡的厚度以及楔形和偏心誤差。 它的軟件還可以用于分析(全自動(dòng))光學(xué)表面相對(duì)于用戶定義的參考表面的定位,例如鏡片周邊,任何鏡片安裝座或模具鏡筒。
LuphoScan平臺(tái)可提供出色的形狀測(cè)量精度。 這是通過(guò)特別的參考框架概念和遵循阿貝原理的精密的參考傳感器布置實(shí)現(xiàn)的。
在LuphoScan 260 HD平臺(tái)中,通過(guò)選擇新的材料,改進(jìn)的傳感器控制,實(shí)時(shí)包括周圍環(huán)境以及先進(jìn)的校準(zhǔn)功能對(duì)概念進(jìn)行了優(yōu)化。 這樣,高清系統(tǒng)在90°范圍內(nèi)提供的絕對(duì)測(cè)量精度優(yōu)于±50 nm(3σ)。 此外,測(cè)量結(jié)果的可重復(fù)性和本底噪聲得到了非常大的改善。
下圖顯示了在高達(dá)90°的重復(fù)測(cè)量中確定的校準(zhǔn)球(D = 25 mm)的功率和PV誤差變化的示例。
在14小時(shí)的測(cè)量期間內(nèi),功率和PV的變化分別保持小于±15 nm和±5 nm。

測(cè)量能力非常高

HD = 高分辨率
快速的、值得信賴的非球面表面非接觸式三維形狀測(cè)量

高精度 - 物件坡度高至90°。
是測(cè)量大的、陡峭的和很小的非球面鏡頭(如手機(jī)鏡頭模具)的理想選擇

測(cè)量結(jié)果很高的重復(fù)性
Power和PV測(cè)定參數(shù)的穩(wěn)定性

系統(tǒng)噪音很低
堅(jiān)固耐用,不受環(huán)境變化的影響
LuphoScan平臺(tái)是基于利用MWLI技術(shù)(多波長(zhǎng)干涉儀)的光學(xué)(非接觸)點(diǎn)探針的掃描干涉儀。
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