主要應(yīng)用

用于需要高精度的數(shù)控坐標(biāo)測(cè)量機(jī)。

與TP200一樣，但當(dāng)出現(xiàn)誤觸發(fā)事件時(shí)。

感應(yīng)方向

六軸：±X、±Y、±Z

六軸：±X、±Y、±Z

單向重復(fù)性 (2σ μm)

電平觸發(fā)1：0.40 μm

電平觸發(fā)2：0.50 μm

電平觸發(fā)1：0.40 μm

電平觸發(fā)2：0.50 μm

XY（2D）輪廓測(cè)量偏差

電平觸發(fā)1：±0.80 μm

電平觸發(fā)2：±0.90 μm

電平觸發(fā)1：±1 μm

電平觸發(fā)2：±1.2 μm

XYZ (3D) 輪廓測(cè)量偏差

電平觸發(fā)1：±1 μm

電平觸發(fā)2：±1.40 μm

電平觸發(fā)1：±2.50 μm

電平觸發(fā)2：±4 μm 

測(cè)針交換的重復(fù)性

SCR200：±0.50 μm（*大）

手動(dòng)：±1 μm（*大）

SCR200：±0.50 μm（*大）

手動(dòng)：±1 μm（*大）

測(cè)力（測(cè)尖）

XY平面（所有模塊）：0.02 N

Z軸（所有模塊）：0.07 N

XY平面（所有模塊）：0.02 N

Z軸（所有模塊）：0.07 N

越程測(cè)力（位移為0.50 mm時(shí)）

XY平面（SF / EO模塊）：0.2 N至0.4 N

XY平面（LF模塊）：0.1 N至0.15 N

Z軸（SF / EO模塊）：4.90 N

Z軸（LF模塊）：1.60 N

XY平面（SF / EO模塊）：0.2 N至0.4 N

XY平面（LF模塊）：0.1 N至0.15 N

Z軸（SF / EO模塊）：4.90 N

Z軸（LF模塊）：1.60 N 

重量（測(cè)頭傳感器和模塊）

22 g 

22 g 

*長(zhǎng)加長(zhǎng)桿（如配在PH10 PLUS系列測(cè)座上）

300 mm 

300 mm 

推薦的*大測(cè)針長(zhǎng)度（M2測(cè)針系列）

SF / EO模塊：50 mm鋼質(zhì)至100 mm GF

LF模塊：20 mm鋼質(zhì)至50 mm GF

SF / EO模塊：50 mm鋼質(zhì)至100 mm GF

LF模塊：20 mm鋼質(zhì)至50 mm GF

安裝方式

M8螺紋

M8螺紋 

適合的接口

PI 200-3、UCC

PI 200-3、UCC

測(cè)針模塊交換架

自動(dòng)：SCR200

手動(dòng)：MSR1 

自動(dòng)：SCR200

手動(dòng)：MSR1 

測(cè)針系列

M2

M2