激光干涉儀

1D激光主要可以測量定位誤差和重復(fù)定位精度
3D激光可以測量定位誤差、直線度誤差（雙向）
5D/6D激光可以測量定位誤差、直線度誤差（雙向）、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角
在選擇無線遙控傳感器的情況下，測量距離可長達(dá)45米（80米可選）。
可測量速度、加速度、振動(dòng)等參數(shù)，并評估機(jī)床動(dòng)態(tài)特性。
設(shè)計(jì)緊湊、體積小，測量機(jī)床時(shí)不需三角架。集成干涉鏡與激光器于一體，簡化了調(diào)整步驟，減少了調(diào)整時(shí)間
5D/6D激光干涉儀是API的所有產(chǎn)品，一次安裝能夠同時(shí)測量線性軸的六個(gè)誤差，包括1個(gè)位置度誤差、2個(gè)直線度誤差、3個(gè)角度誤差。在通常情況下需要數(shù)天時(shí)間進(jìn)行的測試，使用API激光干涉儀只需幾個(gè)小時(shí)即可完成，實(shí)際應(yīng)用結(jié)果表明，節(jié)省時(shí)間可達(dá)80%。該儀器體積小，重量輕，可以直接安裝到機(jī)床導(dǎo)軌上。
測量儀配有自動(dòng)氣壓、環(huán)境溫度補(bǔ)償器，自動(dòng)校正環(huán)境變化對激光波長及長度測量的影響，測量儀還配有專門設(shè)計(jì)的多重?cái)?shù)字濾波器，使由空氣波動(dòng)及溫度梯度引起的測量誤差降到非常小。 

準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)采集 實(shí)時(shí)的誤差測量確保了數(shù)據(jù)采集的正確性以及高精度的誤差分析；自動(dòng)的數(shù)據(jù)采集技術(shù)，簡化了數(shù)據(jù)采集的過程。
儀器的溯源性 API公司XD系列激光干涉儀的各項(xiàng)參數(shù)（線性、直線度、角度）都是溯源到國家和國際標(biāo)準(zhǔn)上的。這些精度都經(jīng)過美國國家標(biāo)準(zhǔn)局（NIST），中國計(jì)量科學(xué)研究院和德國PTB等機(jī)構(gòu)的檢驗(yàn)。
連續(xù)生產(chǎn)和方案 為了避免突然停機(jī)、停產(chǎn)、API公司為現(xiàn)代化的機(jī)加工車間提供測量解決方案，也就是方案。 長期以來，車間管理人員一直以1D激光測量系統(tǒng)來繪制機(jī)床誤差圖及進(jìn)行校準(zhǔn)。所以想要測量完整的21項(xiàng)參數(shù)，則需要進(jìn)行21到24次單獨(dú)的安裝調(diào)試，而且每一軸的每一次測量都需要1-2小時(shí)時(shí)間，因此，整個(gè)機(jī)床的測量過程通常占用兩到三個(gè)工作日，這就使得機(jī)床長時(shí)間處于停工狀態(tài)，嚴(yán)重影響了車間的利潤率和生產(chǎn)能力。采用API公司XD Laser激光干涉儀就完全避免了上述缺陷，使得對機(jī)床的測量快捷、簡便。
XD Laser激光干涉儀的組成 XD Laser激光干涉儀是在LMS激光干涉儀的基礎(chǔ)上進(jìn)行了改進(jìn)。將控制箱集成到激光里頭，將原先的有線數(shù)據(jù)傳輸改成無線數(shù)據(jù)傳輸。因此，XD Laser激光干涉儀是有激光頭、傳感器、氣象站、筆記本電腦和連接整個(gè)系統(tǒng)的電纜組成。
攜帶方便，操作簡單 全套系統(tǒng)重量僅為15千克，可以裝入一個(gè)小型工具箱內(nèi)。由于采用了緊湊型設(shè)計(jì)，XD Laser體積小，測量機(jī)床時(shí)無需使用三腳架。使測量基準(zhǔn)與機(jī)床的加工基準(zhǔn)保持一致，簡化了測量程序（免拆機(jī)床護(hù)罩）。集成干涉鏡與激光器于一體，簡化了調(diào)整步驟，減少了調(diào)整時(shí)間，提高了機(jī)床使用效率。

XL Laser激光干涉儀的具體應(yīng)用

1. 在做不同軸向測量時(shí)，激光器不需重新裝配，只需插入90度反光鏡即可（見圖1,2,3），使測量過程更加簡便。
2. 測量坐標(biāo)軸之間的垂直度時(shí)，只需要五角棱鏡代替90度反光鏡即可（見圖5,6）。
3. 該設(shè)備還可以方便的測量機(jī)床導(dǎo)軌的平行度、平板的平面度，旋轉(zhuǎn)工作臺的角度以及對角線測量等（見圖4,7,8,9）。
4. XD Laser激光干涉儀與角度儀配合使用（見圖10）。

XD激光干涉儀的特殊之處
?一次安裝可測6個(gè)參數(shù) ?無線通訊系統(tǒng) ?高集成設(shè)計(jì)締造的便攜性	?以太網(wǎng)連接 ?自動(dòng)實(shí)時(shí)環(huán)境溫度補(bǔ)償 ?自帶濕度傳感器	?實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)顯示 ?快速安裝調(diào)試 ?緊湊型激光頭設(shè)計(jì)

型號	XD-1D一維型		XD-3D三維型	XD-5D五維型				XD-6D六維型
功能	標(biāo)準(zhǔn)型	精密型		標(biāo)準(zhǔn)型	精密型			標(biāo)準(zhǔn)型	精密型
線性測量范圍（m）	45	40	45	45	40			45	40
線性精度（ppm）	0.5	0.2	0.5	0.5	0.2			0.5	0.2
直線度測量精度（un）	N/A	N/A	(2.0+0.4/m) 或2%顯示值	(1.0+0.2/m) 或1%顯示值	(0.5+0.1/m) 或1%顯示值			(1.0+0.2/m) 或1%顯示值	(0.5+0.1/m) 或1%顯示值
偏擺角和俯仰角精度（角秒）	N/A	N/A	N/A	(1.0+0.1/m) 或1%顯示值	(0.5+0.05/m) 或1%顯示值			(1.0+0.1/m) 或1%顯示值	(0.5+0.05/m) 或1%顯示值
滾動(dòng)角測量精度（角秒）	N/A	N/A	N/A	N/A	N/A			1.0 或1%顯示值	0.5 或1%顯示值
垂直度測量精度（角秒）	N/A	N/A	（1.0+0.4/m）	（1.0+0.2/m）	（1.0+0.2/m）			（1.0+0.2/m）	（1.0+0.2/m）
材料溫度傳感器精度（℃）	0.1	0.1	0.1	0.1	0.1			0.1	0.1
空氣溫度傳感器精度（℃）	0.2	0.1	0.2	0.2	0.1			0.2	0.1
大氣壓力傳感器精度（mm Hg）	1.0	0.3	1.0	1.0	0.3			1.0	0.3