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淺談德國菲希爾涂層測(cè)厚儀校準(zhǔn)以及XRF光譜儀校準(zhǔn)

概要

幾十年來,F(xiàn)ischer一直代表著*高質(zhì)量和精度的測(cè)試儀器。他們把在測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域積累的技術(shù)訣竅不僅用于測(cè)試儀器的制造,還用于測(cè)試儀器校準(zhǔn)等相關(guān)服務(wù)。

校準(zhǔn)常見問題

關(guān)于正確的校準(zhǔn),我們?cè)谙旅鏋槟偨Y(jié)了一些重要的問題和解答。
涂層測(cè)厚儀的校準(zhǔn)

Q: 比較測(cè)量值時(shí)應(yīng)考慮哪些統(tǒng)計(jì)參數(shù)?
A: 以下參數(shù)對(duì)于比較測(cè)量值很重要:算術(shù)平均值、標(biāo)準(zhǔn)偏差、單個(gè)測(cè)量值的數(shù)量。
如果沒有相關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)偏差和測(cè)量的數(shù)量,則無法以有意義的方式相互比較平均值。

Q: 為什么需要校準(zhǔn)?
A: 每種物理測(cè)量方法都受涂層和基體參數(shù)的影響。這些參數(shù)是:工件的幾何形狀、電導(dǎo)率、磁化率、鍍層密度、測(cè)量表面等。
每次涂層或基材的這些參數(shù)發(fā)生變化時(shí),都需要重新校準(zhǔn)測(cè)量?jī)x器。

Q: 我正在一塊平板上校準(zhǔn)我的測(cè)量?jī)x器?,F(xiàn)在我想測(cè)量一個(gè)小直徑的曲面樣品。在不進(jìn)行任何進(jìn)一步校準(zhǔn)的情況下,是否可以繼續(xù)?
A: 不行,在平板上的校準(zhǔn)會(huì)在曲面上引起系統(tǒng)上的測(cè)量誤差。這意味著測(cè)量值將過大。這是因?yàn)閮x器對(duì)樣品(這里是曲面物體)的測(cè)量信號(hào)進(jìn)行了評(píng)估,但是以平面樣品進(jìn)行的評(píng)估。

Q: 為什么雙方會(huì)得到不同的測(cè)量結(jié)果?原因是什么?
A: 計(jì)量器具的精度由校準(zhǔn)片保證。校準(zhǔn)須在真實(shí)、無涂層的樣品上進(jìn)行。此外,須注意在相同的測(cè)量位置進(jìn)行測(cè)量。為了得到一個(gè)有效的平均值,進(jìn)行足夠多次的測(cè)量也是很重要的。

Q: 如何驗(yàn)證干膜測(cè)厚儀測(cè)試的校準(zhǔn)效果?
A:通過把校準(zhǔn)箔放在樣品基材上進(jìn)行測(cè)量來檢查校準(zhǔn)效果。這個(gè)測(cè)量位置須要與你之后要測(cè)量的位置相同。Fischer隨機(jī)配備的基材校準(zhǔn)板并不適用于此目的。


XRF光譜儀的校準(zhǔn)

Q: 如何在FISCHER X射線儀器上驗(yàn)證校準(zhǔn)結(jié)果是否準(zhǔn)確?
A: 為了驗(yàn)證校準(zhǔn)結(jié)果,您需要在菜單“產(chǎn)品”位置選擇“測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)片”。如果你發(fā)現(xiàn)存在差值,則儀器需要再次校準(zhǔn)。

Q: 我的FISCHER X射線儀器測(cè)出了看上去不合理的數(shù)值。我如何確定我測(cè)的是對(duì)的?
A: 接下來您應(yīng)該進(jìn)行設(shè)備管控。您可以通過重新測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)片來檢查儀器。如未得到正確的數(shù)值,則需要進(jìn)行調(diào)整。

Q: 對(duì)于FISCHER X射線儀器而言,基準(zhǔn)測(cè)量意味著什么?
A: 基準(zhǔn)測(cè)量是對(duì)能量軸的一次新的校準(zhǔn)。在不同溫度的影響下,與比例接收器的校準(zhǔn)有關(guān)。

Q: 何時(shí)對(duì)FISCHER X射線儀器進(jìn)行歸一化?
A: 歸一化會(huì)對(duì)當(dāng)前測(cè)量任務(wù)的設(shè)置和基材設(shè)定進(jìn)行調(diào)整。如果主濾波器或陽極電流以及準(zhǔn)直器的設(shè)置被調(diào)整過了,則須進(jìn)行歸一化。如被測(cè)樣品的合金成分或基材成分發(fā)生了變化,也需進(jìn)行歸一化。

Q: 在歸一化和校準(zhǔn)過程中如果儀器顯示“標(biāo)準(zhǔn)片基材和產(chǎn)品底材”,接下來應(yīng)該怎么操作?
A: 在這里,WinFTM是在要求測(cè)量基材材料。請(qǐng)將校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)片中無鍍層的基材和被測(cè)樣品還未進(jìn)行電鍍的基材進(jìn)行放置和測(cè)量。注意:如果儀器上放置了錯(cuò)誤的東西,這會(huì)嚴(yán)重影響結(jié)果的正確性!

Q: 在校準(zhǔn)時(shí)能否疊加X射線標(biāo)準(zhǔn)箔?
A: 是可以的。有一個(gè)簡(jiǎn)單的使用準(zhǔn)則:對(duì)于配備比例接收器的儀器,可以疊加2-3片標(biāo)準(zhǔn)箔。對(duì)于帶有PIN/SDD探測(cè)器的儀器,只可以疊加一片標(biāo)準(zhǔn)箔。

Q: FISCHER X射線標(biāo)準(zhǔn)片的重新認(rèn)證周期是多少?
A: 這取決于使用頻率,客戶可自行決定。一般為1-3年一次。

Q: 是否需要為FISCHER X射線儀器的純?cè)仄M(jìn)行重新認(rèn)證?
A:不是必要的。你不需要重新認(rèn)證純?cè)貕K,因?yàn)樵氐暮穸仁秋柡偷?,所以非常穩(wěn)定。

Q: 對(duì)標(biāo)準(zhǔn)片而言,生產(chǎn)廠商出具的證書和ISO 17025證書有什么區(qū)別?
A: 具有ISO 17025證書的校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)片是按照認(rèn)證機(jī)構(gòu)定義的嚴(yán)格程序進(jìn)行測(cè)量的;與制造商證書的校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)相比,它們的測(cè)量不確定性更小。


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