在光學(xué)加工中，常采用單點金剛石刀頭切割光學(xué)表面。所以刀頭的形狀誤差或波紋度往往會影響光學(xué)表面。Talyrond 595H 高精度圓度測量系統(tǒng)可以通過測量形狀誤差來幫助改善刀頭的制造過程。

測量時刀頭須向上傾斜裝夾，使刀頭的圓柱形切削面平行于圓度儀立柱(如圖1和2所示)。切削面的圓柱中心名義上對齊主軸中心，并使用部分圓度測量的自動程序精確調(diào)整零件中心，使其相對于主軸的偏心小于0.3μm。
隨著工件精確找正，Talyrond 595H的高精度空氣軸承主軸帶動刀頭旋轉(zhuǎn)，測針通過切割掃描，傳感器每0.005度采集一個數(shù)據(jù)點。這種計量方法使用了回轉(zhuǎn)精度為0.015μm的精密測量軸，以實現(xiàn)刀頭和鉆石或紅寶石測針之間的單點接觸。

Talyrond 595H 高精度圓度測量系統(tǒng)---概述

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Talyrond 595H的所有軸都經(jīng)過精密加工，加強了軟件自動更正功能，讓TR595H擁有了直線度和圓度精確度。調(diào)心和調(diào)平操作臺配有高分辨率電機，進(jìn)一步加強了精度和全自動設(shè)置目標(biāo)功能。 該系統(tǒng)配有的Talymin 5傳感器測量能力能夠達(dá)到納米級別，同時自動橫臂機制能夠提供多功能化確保能夠測量難以達(dá)到的部分。TR595H配置的主動抗振控制托架確保了不受外界環(huán)境影響的測量環(huán)境，保證測量環(huán)境接近生產(chǎn)過程。 ? 全自動軸臂橫向和縱向機制 ? 軸臂、立柱和主軸校準(zhǔn)自動校準(zhǔn) ? 自動傳感器校準(zhǔn) ? 高精度空氣軸承主軸精度+/- 0.01 um ? 傳感器分辨率0.3 nm ? 主動隔震和環(huán)境隔離系統(tǒng)